본 발명은 입체형상을 갖는 대상물의 외측표면 또는 내측표면에 원자층을 균일하게 증착 가능한 원자층 증착장치로서, 원자층 증착 대상물을 회전시키는 회전지지부를 구비하는 스테이지; 및 상기 회전하는 대상물에 원자층을 증착하는 헤드를 포함하고, 상기 헤드는, 상기 회전지지부 상에서 회전하는 증착 대상물의 내측표면 및 외측표면 중 어느 하나에 측면방향으로 가스를 분사하여 원자층을 증착하는 노즐블록을 포함한다.