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[우수특허매매] 바이오 입체구조 패터닝 공정을 이용한 그래핀 주름 제조방법

본 발명은 입체구조 패터닝 공정을 이용한 그래핀 주름 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 입체구조 패터닝 공정을 이용한 그래핀 주름 제조방법은, 전이금속 박막을 준비하고, 상기 전이금속 박막에 표면에 대하여 포토(photo) 공정을 수행하여, 포토 레지스트로 커버링된 보호영역과 포토 레지스트로부터 오픈된 개방영역으로 구분되는 마스크 패턴을 형성하는 단계; 상기 전이금속 박막에 대하여 식각공정을 수행하여, 상기 개방영역은 식각되고 상기 보호영역은 식각되지 않은 형태의 입체패턴을 형성하는 단계; 상기 전이금속 박막을 화학기상증착(CVD) 챔버에 삽입하여, 상기 전이금속 박막의 입체패턴 상에 그래핀을 합성하는 단계; 및 상기 보호영역과 상기 개방영역 각각에 대응되는 영역들에서 전사된 그래핀의 주름의 정도가 서로 다르도록, 합성된 그래핀을 유연(stretchable 또는 flexible)기판 상에 전사하는 단계;를 구비한다.
 

기술명 입체구조 패터닝 공정을 이용한 그래핀 주름 제조방법

기술보유기관 순천대 산단

발명자 국립순천대학교산학협력단

특허번호 10-2021-0007144